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蘋果為何鎖定IGZO?

作者:果殼硬科技 來源: 頭條號 122603/05

有哪些材料一直被使用,但卻很少引人注意,那一定是IGZO。從八年前的iPad Pro,再到現(xiàn)在的Apple Watch、iPad、MacBook和顯示器,都或多或少存在它的身影。從去年開始到現(xiàn)在,力積電不遺余力地宣傳其新技術(shù)已吸引到蘋果、L

標(biāo)簽:

有哪些材料一直被使用,但卻很少引人注意,那一定是IGZO。從八年前的iPad Pro,再到現(xiàn)在的Apple Watch、iPad、MacBook和顯示器,都或多或少存在它的身影。


從去年開始到現(xiàn)在,力積電不遺余力地宣傳其新技術(shù)已吸引到蘋果、LG等廠商主動上門詢問洽談合作,其全球獨家第四代氧化物半導(dǎo)體材料IGZO制程技術(shù)制造的顯示驅(qū)動芯片可應(yīng)用在AR/VR等產(chǎn)品上,可將分辨率從2000ppi提高至5000ppi[1]。IGZO究竟是什么材料,引得蘋果如此注意?


本文是“果殼硬科技”策劃的“國產(chǎn)替代”系列第二十篇文章,關(guān)注IGZO國產(chǎn)替代。在本文中,你將了解到:IGZO是什么,有什么作用,國內(nèi)外發(fā)展情況。


付斌 | 作者

李拓 | 編輯

果殼硬科技 | 策劃


拼配出來的材料


IGZO的名字來自于四種元素的首字母,即Indium Gallium Zinc Oxide,中文名為銦鎵鋅氧化物或氧化銦鎵鋅,是由In2O3、Ga2O3和ZnO三種化合物按不同配比組成。


IGZO在行業(yè)中還有另一種稱呼,即Oxide TFT(氧化物薄膜晶體管)。研究發(fā)現(xiàn),一系列金屬氧化物有類似性能,這些材料統(tǒng)稱為Oxide TFT,不過,由于夏普長時間對IGZO的宣傳,加之大部分Oxide TFT中半導(dǎo)體層采用的都是IGZO,行業(yè)仍以IGZO為主要稱呼。[2]


IGZO具有能耗低、響應(yīng)時間短、分辨率高、良好的柔性等優(yōu)異性能,同時具有均勻性、穩(wěn)定性、工藝成本低等優(yōu)點。[3]


從材料性質(zhì)上來講,IGZO帶隙較寬,可達到3.5eV,電子遷移率比非晶硅高1~2個數(shù)量級,最大特點是在非晶狀態(tài)下仍然擁有較高電子遷移率。此外,IGZO為N型半導(dǎo)體材料,在理論和技術(shù)上幾乎不可能實現(xiàn)P型。[4]


作為金屬氧化物新材料,IGZO應(yīng)用主要為顯示驅(qū)動、傳感應(yīng)用、類腦系統(tǒng)三大類:

顯示面板:LCD顯示驅(qū)動、OLED顯示驅(qū)動、柔性顯示;傳感應(yīng)用:光電探測器、壓力傳感器、pH傳感器、氣體傳感器、柔性傳感器;類腦系統(tǒng):DRAM、RRAM等憶阻器的溝道材料。[5]

產(chǎn)業(yè)中,使用IGZO的關(guān)鍵是元素配比和含氧量,它們會影響到器件本身的特性和穩(wěn)定性。通過調(diào)整IGZO的元素比和IGZO成膜過程中氧含量,以提升有源層特性,既可保證生產(chǎn)節(jié)拍,又能提升器件穩(wěn)定性。[6]


打個比方來說,就相當(dāng)于是一道菜中調(diào)料的配比,比例失衡就會攪亂整道菜的口感。


不同金屬氧化物的作用,制表丨果殼硬科技

參考資料丨《化學(xué)工程與技術(shù)》[7]《功能材料與器件學(xué)報》[8]


具體來說,IGZO常見的配比為In2O3:Ga2O3:ZnO=1:1:1或1:1:2,物相主要是In2Ga2ZnO7或InGaZnO4。[9]


不同氧濃度下a-IGZO TFT的電學(xué)性能[6]


IGZO制備方法非常多,但適用于現(xiàn)階段大規(guī)模制造的制備方法主要包括磁控濺射法和原子層化學(xué)氣相沉積(ALCVD)。


IGZO的制備方法及應(yīng)用現(xiàn)狀,制表丨果殼硬科技

資料來源丨《功能材料與器件學(xué)報》[8]


怎么用是大問題


TFT(Thin film transistor,薄膜晶體管)無疑是IGZO的貴人。在TFT中,a-IGZO(非晶銦鎵鋅氧化物)充當(dāng)溝道材料,是傳統(tǒng)材料的替代品,此外,這種替換也只是對現(xiàn)有生產(chǎn)線進行改良,改換也極為方便。


TFT是一種三端子控制器件,是顯示液晶面板的關(guān)鍵集成元件,無論是LCD還是OLED,都需要由TFT控制每個像素點的點亮與熄滅。打個比方來說,可以將TFT的作用和機制理解為一個封閉水閘,柵極是開關(guān)式閥門,源極和漏極就如同水閘左右兩端的溝道,載流子就像水流,水流流動地越快,制造出來的屏幕越好。[10]


隨著下游產(chǎn)品不斷迭代,市場開始對顯示面板的尺寸、清晰度、柔性、能耗等參數(shù)提出要求,TFT中傳統(tǒng)非晶硅材料已無法追趕顯示面板發(fā)展速度。為了追求高速和低功耗兩種特性,學(xué)界和業(yè)界將目光放在新型氧化物半導(dǎo)體TFT和新型有機半導(dǎo)體TFT兩種器件上[11],IGZO便是其中一種新型氧化物半導(dǎo)體TFT。


把氧化物半導(dǎo)體材料應(yīng)用到TFT中的想法最早可追溯到1964年,當(dāng)時這種TFT并沒有引起人們的關(guān)注。1985年,IGZO晶體被制備出來,因缺乏應(yīng)用形式,也沒有掀起太大的浪花。直到2004年,日本學(xué)者細野秀雄發(fā)明了第一個a-IGZO TFT,才讓IGZO的研究進入白熱化。細野秀雄也首次證明了世界還存在其它能與低溫多晶硅(LTPS)TFT性能相媲美的TFT。[12]


在同一路線中,IGZO也存在諸多競爭者,通過研究發(fā)現(xiàn),在可用于TFT的候選新型材料中,IGZO脫穎而出。[13]


不同溝道材料的遷移率及禁帶寬度[8]


以a-IGZO制造的TFT性能尤為出色,不僅具備高遷移率(>8cm2/(V·s))、低漏電流(<10-12 A)、低亞閾擺幅(<0.3V/dec)等優(yōu)良硬參數(shù)[14][15],還具備透射率高、制備工藝溫度低、制造過程比非晶硅簡單、均勻性好及化學(xué)穩(wěn)定性高等特性。[7]


上述特性對成像質(zhì)量起到關(guān)鍵的作用,能夠提高顯示面板分辨率,同時使得大屏幕OLED電視成為可能[16]??梢哉f,憑借著美麗的材料屬性,IGZO成為推動TFT-LCD、TFT-OLED與TFT-Micro-LED未來發(fā)展的關(guān)鍵。[17]


更為重要的是,IGZO在TFT中的優(yōu)勢讓它找到了更多應(yīng)用:比如說,可將a-IGZO TFT被光照射后電學(xué)信號的變化作為敏感信號,使之應(yīng)用于光電探測領(lǐng)域[18];一些研究表明,IGZO的特性也可充當(dāng)肖特基管[19]、憶阻器有源層[20]、太空穿戴設(shè)備[8]、X射線傳感器、IGZO MEMS、IGZO半導(dǎo)體處理器[21]的材料。


雖說擁有諸多優(yōu)勢,但IGZO也不是萬能的,甚至可以說,可能不是最優(yōu)畫質(zhì)的選擇。


實際上,a-Si(非晶硅)、IGZO、LTPS(低溫多晶硅,Low Temperature Poly-Silicon)都是主流的TFT技術(shù),LTPS明顯在電子遷移率、高分辨率、窄邊框化等參數(shù)上更強,而IGZO的優(yōu)勢更多體現(xiàn)在功耗、制造良品率、制造成本方面。


a-Si、LTPS、IGZO TFT技術(shù)性能與生產(chǎn)性能對比,制表丨果殼硬科技

參考資料丨《光電子技術(shù)》[21]


正因材料本身有長處也有短處,所以便各司其職,在應(yīng)用中發(fā)揮自己最擅長的部分:a-Si用于對分辨率要求不高的普通大尺寸TFT-LCD面板中[22];IGZO則用于在大尺寸OLED面板或高分辨率TFT-LCD,如110寸以上電視[23];LTPS受限于成本、良率等問題,主要應(yīng)用在高分辨率小尺寸面板中,如手機、平板,其在大尺寸OLED上的應(yīng)用還有一定困難。[24]


此外,市場還有一種更為折中的方法,在驅(qū)動電路中混合使用具有高遷移率和低漏電流的LTPS TFT和IGZO TFT[17],便是Apple Watch Series 5所使用的低溫多晶氧化物(LTPO),看似無理取鬧的組合,卻兼顧了高顯示效果和低功耗,一度成為蘋果的制勝法寶。迄今為止,Apple Watch、iPad、MacBook依然使用LTPO技術(shù)。


總而言之,作為一種特性獨特的材料,IGZO的價值遠沒有被榨干,現(xiàn)階段仍被學(xué)界和業(yè)界所大力研究。


縹緲的商業(yè)前景


從市場角度來看,IGZO空間并沒有想象中那樣大。數(shù)據(jù)顯示,2021年,全球IGZO市場規(guī)模為18億美元,至2027年全球市場規(guī)模將成長至36.9億美元,年復(fù)合增長率達到12.31%。[25]


目前,IGZO應(yīng)用已覆蓋到各類消費電子,從細分領(lǐng)域來看:

顯示驅(qū)動應(yīng)用領(lǐng)域,IGZO TFT已實現(xiàn)量產(chǎn),在大/中尺寸高分辨LCD和大尺寸剛性/柔性AMOLED顯示中得到商業(yè)化應(yīng)用[26],基于IGZO TFT驅(qū)動的顯示面板已被夏普、三星、LG等公司開發(fā)并投入市場,知名產(chǎn)品包括戴爾的Dell XPS 13筆記本電腦、Razer的Razer Blade 14游戲筆記本電腦以及蘋果的iPad mini 2和iPad Air[27],不過,現(xiàn)階段產(chǎn)品仍存在諸如亮度均勻性、器件穩(wěn)定性、成品率的問題,后續(xù)重點在于高像素點、大尺寸、窄邊框、柔性顯示屏、VR等方面;傳感器應(yīng)用領(lǐng)域,IGZO TFT依靠其制備工藝的兼容性,并對光、壓力、pH、氣味等物質(zhì)敏感,可精確探測光的波長、壓力大小、pH值大小等,具有很大應(yīng)用潛力,已有小部分產(chǎn)品面世;神經(jīng)形態(tài)電子器件領(lǐng)域,基于雙電層耦合效應(yīng)和電化學(xué)摻雜的神經(jīng)形態(tài)器件的研究被大量報道,IGZO神經(jīng)形態(tài)晶體管模擬了一些重要的突觸及神經(jīng)元功能,但新興神經(jīng)形態(tài)系統(tǒng)發(fā)展仍處于早期階段,大規(guī)模三維集成、類腦動力學(xué)計算和系統(tǒng)感知仍需要不斷深入探索。[5]

夏普是最寄望于IGZO技術(shù)的公司,也是幾近壟斷市場的存在。反觀夏普的發(fā)展史,是一部漫長的IGZO迭代史。早在2002年,夏普就已開始研究IGZO技術(shù)。2012年,夏普正式量產(chǎn)采用IGZO技術(shù)的面板。2016年5月,鴻海集團收購日本夏普,當(dāng)時郭臺銘押寶的也是IGZO TFT[28]。為了將IGZO占為己有,夏普此前曾嘗試注冊IGZO商標(biāo)(其它公司都稱為Oxide TFT),但被日本專利廳駁回。


迄今為止,夏普已發(fā)展迭代五代IGZO技術(shù)。根據(jù)夏普的說法,其第五代IGZO面板不僅適用于大尺寸高刷新率面板(8K 120Hz),也適用于中小尺寸移動產(chǎn)品,因為第五代IGZO技術(shù)功耗降低了大約10%。更重要的是,第五代的IGZO技術(shù)不僅適用于LCD面板,還可以用于OLED面板。[29]


雖然夏普的夢想是美好的,但現(xiàn)實好像沒那么好過。2018年,就有研究機構(gòu)稱夏普的IGZO面板受制于昂貴售價,出貨束之高閣。[30]


在國內(nèi),中電熊貓無疑是最早行動的那個。2015年,中電熊貓就引進了夏普的IGZO TFT產(chǎn)線,是當(dāng)時全球首條8.5代IGZO TFT液晶面板生產(chǎn)線[21]。但可惜的是,雖然彼時中電熊貓手握核心生產(chǎn)線,但受行業(yè)波峰波谷與內(nèi)部資源配置協(xié)調(diào)等因素影響,8.5代線自量產(chǎn)以來經(jīng)營效率持續(xù)較低。[31]


IGZO發(fā)展簡要歷史,制表丨果殼硬科技


一直以來,國產(chǎn)面板廠商對IGZO技術(shù)念念不忘,卻很難做出實際動作。一方面,當(dāng)面板尺寸越來越大,a-Si線路線徑也隨之拓寬,原本受限的電子遷移率問題便自然解除;另一方面,IGZO與a-Si線路加銅制程相比,制造成本上缺乏絕對的優(yōu)勢。[32]


時間來到現(xiàn)在,華星光電、京東方、天馬微電子、華東科技、華映科技等國產(chǎn)廠商依然在不斷挖掘IGZO的價值,不時地將它放在未來計劃中。


需要理性看待的是,業(yè)界部分人士將IGZO誤解讀為第四代半導(dǎo)體材料,但目前沒有任何證據(jù)表明,IGZO已被劃入第四代半導(dǎo)體材料行列。此外,現(xiàn)階段業(yè)界對于IGZO的宣傳也更偏向于蹭概念,甚至在宣傳中將顯示驅(qū)動的概念放大至蓋過面板本身。


作為新材料,IGZO是值得布局的新技術(shù),但它并非六邊形戰(zhàn)士,在材料特性上更為偏重功耗、生產(chǎn)成本、良率,會是降低中高端面板成本和功耗的重要手段之一,也將是實現(xiàn)高性能VR、柔性屏幕、X線探測器等應(yīng)用的重要材料。如何挖掘出更低的生產(chǎn)成本,并更好地被人所使用將是產(chǎn)業(yè)未來需要考慮的問題。

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