中微公司 視覺(jué)中國(guó) 資料圖

2月27日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（下稱(chēng)“中微公司”，688012）發(fā)布2022年度業(yè)績(jī)快報(bào)。該公司營(yíng)業(yè)總收入為47.40億元，和上年同期相比（同比）增加52.50%；歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)為11.70億元，同比增加15.66%；歸屬于母公司所有者的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤(rùn)為9.19億元，同比增加183.44%。

中微公司稱(chēng)，公司從2012年到2022年十年的平均年?duì)I業(yè)收入一直保持了高于35%的增長(zhǎng)率。此次營(yíng)業(yè)收入較上年同期增長(zhǎng)52.50%，再創(chuàng)歷史新高。該公司在2022年新簽訂單金額約63.2億元，較2021年增加約21.9億元，同比增加約53.0%，訂單銷(xiāo)售比達(dá)到1.33。

中微公司主打產(chǎn)品為等離子體刻蝕設(shè)備，該設(shè)備是除光刻機(jī)以外最關(guān)鍵的微觀加工設(shè)備，也是制程步驟最多、工藝過(guò)程開(kāi)發(fā)難度最高的設(shè)備。公告中提到，半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備作為數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基石，是發(fā)展集成電路和數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵，已成為人們最關(guān)注的硬科技產(chǎn)業(yè)之一。

公告稱(chēng)，由于光刻機(jī)的波長(zhǎng)限制和2維芯片到3維芯片的發(fā)展，等離子體刻蝕設(shè)備越來(lái)越成為卡脖子的設(shè)備，也成為十大類(lèi)關(guān)鍵設(shè)備市場(chǎng)最大的一類(lèi)，占半導(dǎo)體前道設(shè)備總市場(chǎng)的約25%。公司還布局薄膜設(shè)備（主要是化學(xué)薄膜和外延設(shè)備），這也是除光刻機(jī)和刻蝕機(jī)外第三大設(shè)備市場(chǎng)。此外，中微公司還通過(guò)投資布局了第四大設(shè)備市場(chǎng)，即光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。

公司另一個(gè)主打產(chǎn)品MOCVD(金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積)設(shè)備是三五族化合物半導(dǎo)體制造的最關(guān)鍵的核心設(shè)備。中微公司稱(chēng)，這種高端外延設(shè)備從照明，向大面積顯示屏、功率器件、微顯示等新興領(lǐng)域迅速擴(kuò)展，市場(chǎng)領(lǐng)域擴(kuò)展迅猛。

據(jù)公告數(shù)據(jù)，截至2022年底，中微公司累計(jì)已有3311臺(tái)等離子體刻蝕和化學(xué)薄膜的反應(yīng)臺(tái)，在國(guó)內(nèi)、亞洲和歐洲的106條生產(chǎn)線(xiàn)，全面實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)和大量重復(fù)性銷(xiāo)售。

中微公司在公告中表示，今后公司將繼續(xù)瞄準(zhǔn)世界科技前沿，堅(jiān)持三維發(fā)展戰(zhàn)略，持續(xù)鍛造并提升經(jīng)營(yíng)管理能力，降低國(guó)際科技和貿(mào)易摩擦、半導(dǎo)體行業(yè)周期等因素影響，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的發(fā)展。

中微公司是一家以中國(guó)為基地、面向全球的高端半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備公司，是我國(guó)集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)。該公司創(chuàng)始人尹志堯博士在半導(dǎo)體芯片和設(shè)備產(chǎn)業(yè)目前已有近40年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，是國(guó)際等離子體刻蝕技術(shù)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化的重要推動(dòng)者。其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員和重要的技術(shù)、工程人員，包括杜志游、倪圖強(qiáng)、麥?zhǔn)肆x、楊偉、李天笑等160多位各專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的專(zhuān)家，其中很多是在國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)耕耘數(shù)十年，為行業(yè)發(fā)展做出杰出貢獻(xiàn)的資深技術(shù)和管理專(zhuān)家。

中微公司目前聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。2019年7月22日，中微公司成為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)。