一、芯片生產(chǎn)設備

光刻機：

張江高科持有上海微電子10.76%的股權，上海微電子能夠生產(chǎn)光刻機；

刻蝕機：

中微公司刻蝕設備收入31億，目前等離子體刻蝕設備可以用在5nm線上；

北方華創(chuàng)布局涵蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、檢測等多環(huán)節(jié)，屬于平臺型企業(yè)；

薄膜沉積設備：

北方華創(chuàng)：刻蝕機、PVD、CVD、氧化/擴散爐、退火爐、清洗機等產(chǎn)品；

中微公司：業(yè)務包括刻蝕設備、MOCVD和備品備件。

原子層沉積設備：

微導納米：原子層沉積設備龍頭；21年收入4.28億；

拓荊科技：產(chǎn)品包括PECVD設備，ALD設備，SACVD設備；

CMP拋光設備：

華海清科：300系列化學機械拋光設備 、 200系列化學機械拋光設備

清洗設備：

盛美上海：22年半導體清洗設備營收20.78億；

北方華創(chuàng)：布局涵蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、檢測等多環(huán)節(jié)；

芯源微：涂膠/顯影機，噴膠機，清洗機，去膠機，濕法刻蝕機；

離子注入機：

萬業(yè)企業(yè)：萬業(yè)企業(yè)控股子公司凱世通是國內離子注入機龍頭，目前產(chǎn)品包括自產(chǎn)離子注入機、離子注入平臺、離子注入機耗材備件等；

前道量測設備：

精測電子：產(chǎn)品包括面板顯示檢測、半導體量測檢測、鋰電池檢測設備；

賽騰股份：2019年收購日本OPTIMA株式會社，進入半導體檢測裝備領域；、

封測設備：

長川科技：半導體封測設備龍頭企業(yè)，生產(chǎn)測試機、分選機；

華峰測控：半導體自動化測試系統(tǒng)，測試系統(tǒng)配件；

金海通：平移式測試分選機、重力式測試分選機、轉塔式測試分選機；

和林微納：21年芯片測試探針臺收入1.56億；

二、設備零部件：

新萊應材：半導體管閥核心零部件供應商；

富創(chuàng)精密：國內半導體設備精密零部件的領軍企業(yè)，能夠量產(chǎn)應用于7nm工藝制程半導體設備的精密零部件制造商；

江豐電子：半導體靶材龍頭，公司新開發(fā)的各種精密零部件產(chǎn)品主要包括傳輸腔體、反應腔體、膛體、圓環(huán)類組件、保護盤體、冷卻盤體、噴淋頭等已經(jīng)在多家國內半導體設備及芯片制造頭部企業(yè)實現(xiàn)批量交貨；

三、半導體材料

硅片：12英寸的國產(chǎn)化率10%

滬硅產(chǎn)業(yè)：8英寸和12英寸半導體硅片，12英寸產(chǎn)能60萬片/月

立昂微：8英寸和12英寸半導體硅片，12英寸產(chǎn)能45萬片/月

TCL中環(huán)：8英寸和12英寸半導體硅片，12英寸62萬片/月

神工股份：8英寸硅片

有研硅：8英寸硅片

電子特氣：國產(chǎn)化率15%

華特氣體：2021年特種氣體收入7.97億；

南大光電：2022年特氣產(chǎn)品收入11.95億；

金宏氣體：2022年特種氣體收入7.44億元；

昊華科技：2021年特種氣體收入1.16億元；

拋光液拋光墊，國產(chǎn)化率30%

安集科技：2022年化學機械拋光液收入9.51億；

鼎龍股份：拋光墊、拋光液收入5.22億元；

光刻膠：國產(chǎn)化率10%

南大光電：公司ArF光刻膠驗證工作正在穩(wěn)步推進；

彤程新材：公司目前生產(chǎn)半導體光刻膠、顯示面板光刻膠等，半導體光刻膠還包括G/I線、KrF光刻膠。

晶瑞電材：2021年光刻膠及配套產(chǎn)品收入2.74億元；

濕法電子化學產(chǎn)品：國產(chǎn)化率20%

晶瑞電材：高純雙氧水、高純硫酸、高純氨水等電子材料均達到SEMI G5等級，批量供貨國內頭部半導體企業(yè)；

江化微：2022年超凈高純化試劑收入6.28億；

新宙邦：電池化學品、有機氟化學品、電容器化學品和半導體化學品

靶材：國產(chǎn)化率30%

江豐電子：22年超高純靶材收入16.11億元；

有研新材：公司業(yè)務分為“電磁光醫(yī)”四大板塊。電板塊：集成電路用靶材、貴金屬等業(yè)務，對應全資子公司有研億金；