2022年全球半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到5801億美元，達(dá)到歷史新高，過去十年復(fù)合增長(zhǎng)率7.4%。

半導(dǎo)體行業(yè)大周期約10年，即每10年一個(gè)“M”形波動(dòng)，主要原因是 一方面受全球GDP增速變化影響，另一方面主要是技術(shù)驅(qū)動(dòng)帶來的行業(yè)發(fā)展。

2023年上半年全球半導(dǎo)體處于下行周期，但AIGC帶來的新一輪技術(shù)創(chuàng)新引發(fā)需求大幅提升，行業(yè)有望在2024年迎來上行周期，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)有望迎來全面修復(fù)。#半導(dǎo)體#

2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)為1076億美元，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額占全球銷售 額26%，達(dá)到283億美元，超出中國臺(tái)灣（25%）、韓國（20%）、北美（10%），連續(xù)三年成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。

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2018年以來，美國對(duì)華半導(dǎo)體管制不斷加碼，從華為、中興、中芯國際等下游不斷向上游延申。

2022年10月7日，美國BIS對(duì)華進(jìn)行半導(dǎo)體管制，范圍擴(kuò)大至先進(jìn)芯片、設(shè)備、零部件、人員等。

美國半導(dǎo)體設(shè)備管制范圍：16/14nm以下的先進(jìn)邏輯工藝芯片、128層以上的NAND閃存芯片、18納米半間距或更低的DRAM存儲(chǔ)器芯片所需的制造設(shè)備。#芯片#

隨著美日荷半導(dǎo)體設(shè)備封鎖，倒逼國產(chǎn)化率快速提升。

國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商持續(xù)加大研發(fā)，除光刻機(jī)外，其他重點(diǎn)環(huán)節(jié)均實(shí)現(xiàn)28nm制程突破，去膠、部分刻蝕和清洗已經(jīng)達(dá)到先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)。

外部制裁下國內(nèi)晶圓廠給予設(shè)備驗(yàn)證機(jī)會(huì)增多，國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在政策支持力度加大->加速國內(nèi)設(shè)備研發(fā)進(jìn)度->半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代有望加速。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈

在集成電路晶圓制造中，可分為7大工藝，分別為氧化/擴(kuò)散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、清洗和金屬化，所對(duì)應(yīng)的專用設(shè)備主要包括氧化/擴(kuò)散設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、機(jī)械拋光設(shè)備等。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈：

資料來源：公開資料，中信證券

根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，22年刻蝕設(shè)備、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備和工藝控制設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備中的占比分別為22%、17%、22%和12%；市場(chǎng)規(guī)模分別是1550億元、1160億元、1540億元。

刻蝕設(shè)備

刻蝕的目的是把圖形從光刻膠轉(zhuǎn)移到待刻蝕的薄膜上，即有選擇性地去掉薄層上不需要的部分。

在刻蝕工藝中，最核心的設(shè)備就是刻蝕機(jī)。

根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，22年刻蝕設(shè)備、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備和工藝控制設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備中的占比分別為22%、17%、22%和12%；市場(chǎng)規(guī)模分別是1550億元、1160億元、1540億元。

全球刻蝕設(shè)備領(lǐng)域中，硅基刻蝕主要被Lam和AMAT壟斷，介質(zhì)刻蝕主要被TEL和Lam壟斷。分廠商來看，Lam獨(dú)占47%的市場(chǎng)份額，TEL和AMAT分別占據(jù)27%和17%的市場(chǎng)份額。

受益于SMIC、YMTC、CXMT等國內(nèi)產(chǎn)線的發(fā)展，國內(nèi)廠商在半導(dǎo)體前道和后道設(shè)備領(lǐng)域均加速突破，進(jìn)入從1到10的新階段，逐步縮小國際差距。

在薄膜沉積、刻蝕、光刻三大半導(dǎo)體設(shè)備中，因其技術(shù)水平、市場(chǎng)份額突破等相對(duì)光刻機(jī)來說已取得較為長(zhǎng)足的進(jìn)展，且已貢獻(xiàn)出兩家代表性上市公司——北方華創(chuàng)和中微公司。

另外，屹唐半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備可用于65nm~5nm 邏輯芯片，設(shè)備已用于三星電子、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國內(nèi)外知名存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)。

清洗設(shè)備

清洗主要用于雜質(zhì)去除，本質(zhì)上屬于類輔助工序，并未涉及材料精細(xì)加工過程。

清洗設(shè)備是半導(dǎo)體制程核心設(shè)備，應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的設(shè)備通常可分為晶圓制造設(shè)備和封裝測(cè)試設(shè)備兩大類。

相較其他環(huán)節(jié)，清洗設(shè)備較易率先實(shí)現(xiàn)全面國產(chǎn)化，2030年國產(chǎn)化率目標(biāo)有望達(dá)40%~45%。

核心在于相比光刻、薄膜沉積、刻蝕等工藝，清洗技術(shù)壁壘相對(duì)較低。

清洗步驟占芯片制造總工序30%以上，但價(jià)值量占比僅為5%。此外，半導(dǎo)體清洗設(shè)備多技術(shù)路徑并存，優(yōu)勢(shì)各異，使得本土企業(yè)可以通過差異化研發(fā)方式進(jìn)行技術(shù)追趕，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)海外企業(yè)的彎道超車。

在本土供應(yīng)商中，盛美上海、至純科技、芯源微在清洗設(shè)備領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化較為領(lǐng)先。2022年盛美上海和至純科技清洗設(shè)備分別實(shí)現(xiàn)收入20.8和7.9億元，兩家合計(jì)市場(chǎng)份額已經(jīng)達(dá)到29%。

2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備國產(chǎn)化率超過30%：

數(shù)據(jù)來源：SEMI，Wind，東吳證券研究所測(cè)算

薄膜沉積設(shè)備

薄膜沉積設(shè)備通常用于在基底上沉積導(dǎo)體、絕緣體或者半導(dǎo)體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，可用物理或化學(xué)方法制備。

具體來看，薄膜沉積設(shè)備種類繁多，細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域各異。

在不同制程和功能需求的驅(qū)動(dòng)下，各大類沉積方法逐漸衍生出了多種技術(shù)。如化學(xué)氣相沉積（CVD）中，有針對(duì)更細(xì)致制程劃分的APCVD、LPCVD、PECVD、HDPCVD、FCVD等；物理氣相沉積（PVD）則包括濺射PVD和蒸鍍PVD。

資料來源：微導(dǎo)納米

從市場(chǎng)格局來看，薄膜沉積設(shè)備主要被日本、美國和歐洲的廠商主導(dǎo)。

據(jù)Gartner數(shù)據(jù)，PVD設(shè)備方面，應(yīng)用材料具有絕對(duì)份額優(yōu)勢(shì)，占據(jù)85%的市場(chǎng)份額；應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體和東京電子是CVD設(shè)備市場(chǎng)中的佼佼者，分別占比30%、21%和19%；ALD設(shè)備中，東京電子和ASMI是行業(yè)龍頭，分別占有31%和29%的市場(chǎng)份額。

在國內(nèi)廠商中，北方華創(chuàng)和拓荊科技的薄膜沉積設(shè)備研發(fā)進(jìn)展較為領(lǐng)先，中微公司在深耕用于LED制造的MOCVD的同時(shí)加碼鎢填充CVD設(shè)備。

北方華創(chuàng)的CVD、PVD等相關(guān)設(shè)備已具備28nm工藝水平；14nm先進(jìn)制程薄膜沉積設(shè)備與ALD設(shè)備已在客戶端通過多道制程工藝驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。

中微公司的鎢填充CVD設(shè)備可應(yīng)用于先進(jìn)邏輯器件接觸孔填充，以及64層、128層和200層以上的3D NAND中的若干關(guān)鍵薄膜沉積步驟，目前公司的鎢填充CVD已通過關(guān)鍵客戶驗(yàn)證。#5月財(cái)經(jīng)新勢(shì)力#

拓荊科技的部分CVD設(shè)備已廣泛應(yīng)用于中國晶圓廠14nm及以上制程集成電路制造產(chǎn)線，并已展開14nm及以下制程產(chǎn)品驗(yàn)證測(cè)試；公司的部分ALD設(shè)備已應(yīng)用于中國晶圓廠28nm及以上制程集成電路制造產(chǎn)線，并已展開28nm及以下制程產(chǎn)品驗(yàn)證測(cè)試。

人工智能浪潮下閃存芯片3D堆疊加速，薄膜沉積設(shè)備用量或?qū)⑸仙?/p>關(guān)注樂晴智庫，洞悉產(chǎn)業(yè)格局！