每經(jīng)記者：朱成祥 每經(jīng)編輯：陳俊杰

說(shuō)起萬(wàn)業(yè)企業(yè)（SH600641，股價(jià)19.01元，市值182.1億元），投資者們最熟悉的或許還是其房地產(chǎn)商的身份。但如今，萬(wàn)業(yè)企業(yè)通過(guò)外延式并購(gòu)，逐漸發(fā)展起以離子注入機(jī)為主的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)。12月20日上午，《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者致電萬(wàn)業(yè)企業(yè)證券部，針對(duì)上市公司未來(lái)是否將以半導(dǎo)體設(shè)備為主，房地產(chǎn)業(yè)務(wù)將越來(lái)越少的問(wèn)題，工作人員表示肯定，“是的，公司目前在做轉(zhuǎn)型”。

記者發(fā)現(xiàn)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)除了離子注入機(jī)外，也在發(fā)展刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備以及熱處理設(shè)備。對(duì)于上市公司這些業(yè)務(wù)與國(guó)內(nèi)主流廠(chǎng)商的技術(shù)差別，上述工作人員表示希望發(fā)送采訪(fǎng)函至郵箱，以更為詳細(xì)地解答。

萬(wàn)業(yè)企業(yè)通過(guò)郵件回復(fù)記者稱(chēng)：“公司自2015年起沒(méi)有新增土儲(chǔ)，正在不斷深化戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型，加速邁入半導(dǎo)體領(lǐng)域，同步做好現(xiàn)有存量房產(chǎn)的開(kāi)發(fā)、銷(xiāo)售工作?！?/p>

從房地產(chǎn)到半導(dǎo)體

房地產(chǎn)商，這是萬(wàn)業(yè)企業(yè)過(guò)去的標(biāo)簽。半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商，這是萬(wàn)業(yè)企業(yè)轉(zhuǎn)型的方向。

2018年，萬(wàn)業(yè)企業(yè)收購(gòu)上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“凱世通”），正式進(jìn)入離子注入機(jī)領(lǐng)域。

據(jù)Wind數(shù)據(jù)，自2018年以來(lái)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)房地產(chǎn)業(yè)務(wù)持續(xù)下降，而半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)則在上升。2018年、2019年、2020年和2021年，其房地產(chǎn)業(yè)務(wù)營(yíng)業(yè)收入分別為25.75億元、17.33億元、8.57億元和6.81億元；同期，專(zhuān)用設(shè)備制造營(yíng)業(yè)收入分別為5810.52萬(wàn)元、8389.68萬(wàn)元、2176.02萬(wàn)元和1.23億元。

可以看出，萬(wàn)業(yè)企業(yè)專(zhuān)用設(shè)備制造業(yè)務(wù)收入已經(jīng)破億。進(jìn)入2022年，公司專(zhuān)用設(shè)備制造業(yè)務(wù)收入再度高速增長(zhǎng)。2022年上半年，其專(zhuān)用設(shè)備制造業(yè)務(wù)營(yíng)收8783.87萬(wàn)元，較上年同期增長(zhǎng)150.86%。

相比之下，萬(wàn)業(yè)企業(yè)2022年上半年房地產(chǎn)業(yè)務(wù)營(yíng)收僅為7821.15萬(wàn)元。專(zhuān)用設(shè)備制造業(yè)務(wù)已超過(guò)房地產(chǎn)業(yè)務(wù)，成為上市公司第一大業(yè)務(wù)。

據(jù)方正證券研報(bào)，2021年四季度，凱世通的低能大束流重金屬離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)成功通過(guò)驗(yàn)證和驗(yàn)收，高能離子注入機(jī)順利在另一家 12英寸集成電路芯片制造廠(chǎng)完成交付。

2022年一季度，凱世通獲得重要客戶(hù)的批量訂單，累計(jì)新增集成電路設(shè)備訂單超6.8億元。2022年4月已成功向重要客戶(hù)交付了批量訂單中的首批大束流離子注入機(jī)，完成了多套設(shè)備的順利發(fā)貨，業(yè)務(wù)進(jìn)入放量新階段。

另?yè)?jù)上市公司2022年中報(bào)，上半年凱世通新增獲得3家客戶(hù)多臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)采購(gòu)訂單，累計(jì)新增集成電路設(shè)備訂單超7.5 億元。2022年一季度，凱世通獲得重要客戶(hù)的批量訂單，包含12英寸低能大束流離子注入機(jī)和低能大束流超低溫離子注入機(jī)，并與另一家集成電路制造廠(chǎng)簽訂了一臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)訂單。2022年二季度，凱世通獲得第三家集成電路制造工廠(chǎng)的3臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)訂單。

從離子注入到“1+N”

相對(duì)于薄膜沉積、刻蝕機(jī)，離子注入機(jī)價(jià)值量相對(duì)較小。目前，晶圓制造過(guò)程主要包括7個(gè)相互獨(dú)立的工藝流程：光刻、刻蝕、薄膜沉積、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光、金屬化。其中，光刻、刻蝕、薄膜沉積為設(shè)備價(jià)值最高的三個(gè)流程，價(jià)值占比之和超過(guò)50%。

目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微公司（SH688012，股價(jià)100.77元，市值621億元）、北方華創(chuàng)（SZ002371，股價(jià)217.82元，市值1151.3億元），均布局刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備。而萬(wàn)業(yè)企業(yè)的雄心，顯然并不局限于離子注入機(jī)。

在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓制造蓬勃建廠(chǎng)之際，萬(wàn)業(yè)企業(yè)連續(xù)“出手”。2020年，萬(wàn)業(yè)企業(yè)完成全球知名的半導(dǎo)體設(shè)備流量控制領(lǐng)域公司Compart Systems的跨境并購(gòu)；2021年，萬(wàn)業(yè)企業(yè)成立嘉芯半導(dǎo)體，業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多款集成電路核心前道設(shè)備。

據(jù)2022年中報(bào)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)控股孫公司連續(xù)中標(biāo)熱處理設(shè)備、等離子刻蝕機(jī)、等離子薄膜沉積設(shè)備。

以等離子薄膜沉積為例，其與傳統(tǒng)物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積技術(shù)上有無(wú)異同呢？萬(wàn)業(yè)企業(yè)回復(fù)記者稱(chēng)：“等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD是90-28nm沉積介質(zhì)絕緣層和半導(dǎo)體材料的主流工藝設(shè)備，優(yōu)點(diǎn)是低溫沉積、薄膜純度和密度更高，沉積更快，適用于沉積大多數(shù)主流介質(zhì)薄膜。相比傳統(tǒng)的APCVD、LPCVD設(shè)備，PECVD設(shè)備已成為芯片制造薄膜沉積工藝中運(yùn)用最廣泛的設(shè)備種類(lèi)?！?/p>同時(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)也是技術(shù)密集型行業(yè)，對(duì)人才的要求相對(duì)較高。盡管多次并購(gòu)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)是否能夠留住人才、培養(yǎng)人才呢？

對(duì)此，萬(wàn)業(yè)企業(yè)對(duì)記者表示，公司亦充分意識(shí)到人才的問(wèn)題，公司轉(zhuǎn)型成功與否很大程度上取決于人才方面。公司自從轉(zhuǎn)型以來(lái)，對(duì)人才方面一直重視也取得一定成效。萬(wàn)業(yè)企業(yè)第一期員工持股計(jì)劃推出于2021年4月，經(jīng)過(guò)逾一年的施行已達(dá)成解鎖條件成就，據(jù)年報(bào)顯示2021年凱世通營(yíng)收同比增長(zhǎng)468.89%，符合業(yè)績(jī)考核目標(biāo)?？傮w而言，公司希望通過(guò)員工持股計(jì)劃，使得員工和公司能更加緊密地同呼吸、共命運(yùn)，共同拼搏，為后續(xù)幾年公司的良好業(yè)績(jī)打下好的基礎(chǔ)，以此更好地回饋全體投資者。

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