光刻膠
光刻膠,又稱光致抗蝕劑,是微電子領(lǐng)域微細(xì)圖形加工核心上游材料,電子化學(xué)品的高端材料之一。光刻膠品種多樣分為紫外全譜(300~450nm、g線(436nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、EUV(13.5nm)、電子束,在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用很廣。光刻膠存在極高的技術(shù)壁壘和市場壁壘,國產(chǎn)化率極低。半導(dǎo)體領(lǐng)域整體國產(chǎn)化率約為10%,其中,g線、i線、KrF光刻膠約10%,ArF光刻膠全部進(jìn)口。平板顯示領(lǐng)域整體國產(chǎn)化率約10%,其中,觸摸屏光刻膠約35%,彩色和黑色光刻膠、TFT光刻膠幾乎全部進(jìn)口。
目前低端PCB光刻膠國產(chǎn)替代最快,高端半導(dǎo)體光刻膠處于方興未艾的階段,上海新陽KrF厚膜、ArF干法光刻膠研發(fā)到達(dá)中試階段,晶瑞股份完成KrF(248nm深紫外)光刻膠中試,南大光電研制的ArF(193nm)光刻膠樣品處于客戶測試階段。電子特種氣體
電子氣體作為集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一,被廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。隨著集成電路制造技術(shù)的快速發(fā)展,芯片尺寸不斷增大,工藝不斷提高,特征尺寸線寬不斷減小,要求IC制程用的各種電子氣體純度、特定技術(shù)指標(biāo)不斷提高,對關(guān)鍵雜質(zhì)的要求更為苛刻。
濕電子化學(xué)品
濕電子化學(xué)品,又稱超凈高純試劑,要求超凈和高純,為濕法工藝(包括濕法刻蝕、清洗)制程中使用的各種液體化工材料,主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏領(lǐng)域等微電子、光電子器件制造領(lǐng)域。濕電子化學(xué)品存在較高的技術(shù)壁壘和市場壁壘。國際上G1到G4級濕電子化學(xué)品的技術(shù)已趨于成熟,國內(nèi)企業(yè)大都能夠達(dá)到G2級,少數(shù)企業(yè)達(dá)到G3和G4級。國內(nèi)企業(yè)中,晶瑞股份超高純凈雙氧水和超純氨水已達(dá)G5標(biāo)準(zhǔn),其他產(chǎn)品均達(dá)到G3或G4標(biāo)準(zhǔn),上海新陽市的超純電鍍液及添加劑實現(xiàn)在90-28nm制程上的應(yīng)用,江微化IPO項目落地后將具備G4/G5級產(chǎn)品生產(chǎn)能力。
CMP拋光材料
CMP拋光材料是應(yīng)用于CMP工藝中的拋光材料,而CMP工藝是在半導(dǎo)體工業(yè)中使器件在各階段實現(xiàn)全局平坦化的關(guān)鍵步驟。其原理是在一定壓力和拋光液環(huán)境下,被拋光工件相對于拋光墊做相對運動,通過拋光液中固體粒子的研磨作用和氧化劑的腐蝕作用,使工件形成平坦光潔的表面。CMP拋光材料市場占半導(dǎo)體材料7%。CMP是實現(xiàn)晶圓表面平坦化的關(guān)鍵工藝,核心材料主要為拋光液和拋光墊。全球拋光液和拋光墊市場被美、日企業(yè)壟斷,國內(nèi)拋光墊主要廠商為鼎龍股份,拋光液龍頭安集科技國內(nèi)市場占比22%。


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