投資界（ID：pedaily2012）10月9日消息，璞璘科技（杭州）有限公司（以下簡稱“璞璘科技”）近日完成數(shù)千萬元天使輪融資，由峰瑞資本獨(dú)家投資；本輪融資主要用于補(bǔ)充團(tuán)隊(duì)人員，完善量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備研發(fā)、納米壓印材料產(chǎn)線搭建。

納米壓印技術(shù)出現(xiàn)于1995年，當(dāng)時(shí)DUV光刻遭遇100nm分辨率的技術(shù)瓶頸，為突破這一瓶頸，美國工程院院士、華裔科學(xué)家周郁(Stephen Y. Chou)教授首次提出了基于高分子模壓工藝的全新超高分辨率（<10nm）的納米結(jié)構(gòu)制造技術(shù)——納米壓印技術(shù)。

璞璘科技成立于2017年，主要生產(chǎn)和研發(fā)納米壓印設(shè)備及材料。公司創(chuàng)始人、首席科學(xué)家葛海雄教授，師從納米壓印技術(shù)發(fā)明人—周郁院士，從事納米壓印技術(shù)的研究工作超過二十多年，發(fā)展了旋膠涂膜紫外光固化納米壓印工藝與材料體系。

與光刻技術(shù)相比，納米壓印具備工藝相對簡單、低成本、超高分辨率、3D復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)制造、功能性材料直接成型、無需顯影等技術(shù)優(yōu)勢。

納米壓印仍處于不斷發(fā)展中，近幾年，日本佳能集團(tuán)發(fā)展了可量產(chǎn)集成電路芯片的步進(jìn)納米壓印技術(shù)，已經(jīng)成功將納米壓印技術(shù)成功應(yīng)用在15nm制程的3D NAND儲存芯片，并由其子公司“鎧俠科技”完成相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)與中試。此外，SK海力士計(jì)劃從佳能引進(jìn)納米壓印設(shè)備，在2025年左右使用該設(shè)備開始量產(chǎn)3D NAND閃存。

芯片制造及未來的量子芯片會(huì)是納米壓印的核心應(yīng)用場景。除此之外，納米壓印技術(shù)還可以用于微納結(jié)構(gòu)光學(xué)、AR/VR、藍(lán)寶石圖案化襯底、生物芯片、超透鏡、光子芯片等領(lǐng)域。

璞璘科技技術(shù)團(tuán)隊(duì)形成了完整的納米壓印技術(shù)體系，且與合作伙伴實(shí)現(xiàn)了8nm周期、4nm線寬的超高分辨率壓印，這證明納米壓印技術(shù)的分辨率可以勝任未來集成電路制造中對更小線寬的需求。

璞璘科技自主研發(fā)了納米壓印核心技術(shù)，希望推進(jìn)納米壓印技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，可以針對不同應(yīng)用領(lǐng)域、場景與需求，璞璘科技可為用戶提供量身定制的高針性納米壓印產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)。據(jù)璞璘科技創(chuàng)始人兼CEO鄧萌萌介紹，璞璘科技是目前國內(nèi)市場唯一能集納米壓印設(shè)備、材料，工藝為一體的納米壓印高端微納制造供應(yīng)商。

納米壓印閉環(huán)解決方案

在設(shè)備方面，璞璘科技有針對不同場景的納米壓印設(shè)備，科研桌面型，半自動(dòng)研發(fā)型，全自動(dòng)量產(chǎn)型、以及壓印配套設(shè)備。

晶圓半導(dǎo)體納米壓印系統(tǒng)

在材料上，璞璘科技擁有完整的納米壓印膠體系，包括半導(dǎo)體刻蝕材料、光學(xué)應(yīng)用材料、結(jié)構(gòu)傳遞材料、表面處理材料、模具復(fù)制材料等近三十多種納米壓印相關(guān)材料；

全系納米壓印材料

工藝上，除傳統(tǒng)的熱壓印和紫外光固化壓印工藝外，璞璘還擁有復(fù)合高分子模板復(fù)制技術(shù)、無殘余層納米壓印技術(shù)、曲面納米壓印技術(shù)、雙轉(zhuǎn)移層納米壓印技術(shù)、雙腔室納米壓印技術(shù)等多項(xiàng)自主研發(fā)的核心納米壓印工藝。

無殘余層納米壓印技術(shù)

璞璘科技創(chuàng)始人兼CEO鄧萌萌表示，公司相關(guān)業(yè)務(wù)板塊已經(jīng)與國內(nèi)眾多國內(nèi)半導(dǎo)體、光學(xué)、顯示、AR/VR等行業(yè)頭部企業(yè)合作，提供相關(guān)的技術(shù)解決方案。此外，璞璘研發(fā)團(tuán)隊(duì)正在積極將璞璘科技特色的納米壓印技術(shù)導(dǎo)入半導(dǎo)體制造，LED芯片、光學(xué)芯片等高端制造行業(yè)。

納米壓印技術(shù)在全球仍處于一個(gè)朝著量產(chǎn)做嘗試的階段，如設(shè)備的良率、壓印均勻性等問題尚未得到有效解決。

璞璘科技首席科學(xué)家葛海雄教授表示，目前業(yè)內(nèi)對納米壓印技術(shù)的了解并不充分，部分海外納米壓印技術(shù)企業(yè)更多是在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用上進(jìn)度較快，從技術(shù)本身的上并非選擇了最佳技術(shù)路線，一些關(guān)鍵技術(shù)存在先天的缺陷。國內(nèi)企業(yè)若僅從快速產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的角度模仿，很可能導(dǎo)致納米壓印技術(shù)的應(yīng)用誤入歧途，且即使在研發(fā)過程中已經(jīng)發(fā)現(xiàn)眾多的工藝難點(diǎn)問題，也缺乏專業(yè)的解決能力。

在葛海雄教授看來，納米壓印技術(shù)需要上游的技術(shù)供應(yīng)端、下游的應(yīng)用端共同不斷積累、打磨，合作，最終發(fā)展出成熟的納米壓印產(chǎn)業(yè)鏈，沒有彎道超車。

目前，公司技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)中有納米壓印技術(shù)行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的博士超過10人，技術(shù)人員來自美國普林頓大學(xué)、南京大學(xué)、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等，在納米壓印設(shè)備制造、材料工藝開發(fā)、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用等方面具有豐富行業(yè)經(jīng)驗(yàn)；同時(shí)，團(tuán)隊(duì)正在加速擴(kuò)充，引入包括半導(dǎo)體機(jī)械研發(fā)、設(shè)計(jì)，電氣軟件、設(shè)備制造、化工生產(chǎn)等行業(yè)精英。目前公司團(tuán)隊(duì)規(guī)模20余人，研發(fā)及工程相關(guān)技術(shù)人員占比超90%。

峰瑞資本副總裁顏黔杭表示：“納米壓印作為基于物理成型方法實(shí)現(xiàn)納米尺度圖案轉(zhuǎn)移的微納加工技術(shù)，自1995年被發(fā)明以來，學(xué)界與業(yè)界一直嘗試將其應(yīng)用在IC領(lǐng)域和其他微納加工領(lǐng)域，并實(shí)現(xiàn)規(guī)?；涞?。近年來，納米壓印在微納光學(xué)器件及生物芯片中的規(guī)?；瘧?yīng)用，為這項(xiàng)前沿技術(shù)的快速市場化打下了基礎(chǔ)。而在海外，佳能在納米壓印方向持之以恒的研發(fā)投入，實(shí)現(xiàn)了其在閃存芯片工業(yè)化生產(chǎn)中的應(yīng)用，替代了傳統(tǒng)光刻工藝，展現(xiàn)了納米壓印在IC領(lǐng)域作為光刻技術(shù)備選方案的廣闊前景。璞璘科技的核心創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)不僅具備國內(nèi)乃至世界頂級的納米壓印技術(shù)認(rèn)知，并擁有設(shè)備、膠材、工藝一體化的全流程研發(fā)量產(chǎn)能力。峰瑞一直看好微觀尺度下觀測、加工、控制技術(shù)的前沿發(fā)展與應(yīng)用落地，我們相信璞璘能夠在核心團(tuán)隊(duì)的不懈堅(jiān)持下，將更高質(zhì)量、更高效率、更低成本的納米壓印規(guī)模化量產(chǎn)解決方案帶給行業(yè)。“